1.ECH600 探針冷熱臺

2.溫度控制器

3.致冷控制器

4.循環(huán)水機

5.信號切換器

6.液氮罐

7.上位機

8.Keysight E4990A

使用平行板電容法，將樣品置于放有陶瓷燒銀片的可精準控溫的載樣臺上，一個探針接觸樣品上電極，另一探針與陶瓷燒銀片的燒銀層接觸，從而與樣品下電極導通，進而測量樣品電容。測試前，需測量樣品尺寸，輸入到軟件中，這樣就能自動計算樣品在不同溫度下的介電常數(shù)。

陶瓷圓片 A-BT

TCC重復性好，不同輪次曲線差異較小；

Dk及Df的初測、回溫、二測變化趨勢一致，數(shù)據(jù)差異??；

陶瓷圓片 B-BT

TCC重復性較好，不同測試輪次曲線差異較??；

Dk的變化趨勢一致；

MLCC產(chǎn)品

TCC多次測試吻合程度較好，變化率在±15%內(nèi)；

Cp測試紙在0.085μF~0.115μF，相同溫度的測試值二測與一測差異在7%以內(nèi)；

0.5V測試條件下表現(xiàn)與標稱符合。

1.陶瓷圓片與MLCC產(chǎn)品的測試結果可達要求，TCC、Dk、Df測試結果與已測數(shù)據(jù)較為一致。

2.溫控精度在±0.1℃，在3℃/min的升溫速率下，同一溫度4個頻率采樣的實際采樣溫差＜0.2℃，同一品類相鄰溫差≤0.2℃，與配置單標值一致，控溫、溫度檢測準確。

▲ 搭配同慧TH2838