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應(yīng)用案例
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果果儀器為北京航空航天大學(xué)物理學(xué)院定制了一款14通道高精度探針冷熱臺(tái)，適用于微納器件、半導(dǎo)體材料等在變溫環(huán)境下的電學(xué)性能測(cè)試。該設(shè)備采用多通道測(cè)試設(shè)計(jì)，支持復(fù)雜引腳器件的電信號(hào)接入，滿足高精度科研實(shí)驗(yàn)需求。
通道配置與連接方式：
• 12路多芯航插接口：通過(guò)接線盒轉(zhuǎn)接，支持多引腳器件的穩(wěn)定連接，適用于引腳密集、布局緊湊的樣品測(cè)試。
• 2路SMA接口：適用于高頻信號(hào)或低噪聲測(cè)量需求，提升測(cè)試靈活性與信號(hào)完整性。
• 通道采用接線柱連接方式：確保接觸可靠，便于用戶快速安裝與更換樣品。
腔體設(shè)計(jì)與工藝特點(diǎn)：
• 特殊真空腔體工藝：通過(guò)優(yōu)化密封結(jié)構(gòu)與材料處理，顯著提升腔體真空保壓性能。
• 高兼容性樣品空間：支持用戶定制樣品臺(tái)布局，適配多種器件尺寸與電極排布。
典型應(yīng)用場(chǎng)景：
• 半導(dǎo)體材料電學(xué)特性測(cè)試
• 微納器件變溫I-V、C-V測(cè)量
• 低溫/高溫環(huán)境下器件可靠性評(píng)估
• 多電極復(fù)雜結(jié)構(gòu)樣品的并行電學(xué)表征
設(shè)備應(yīng)用現(xiàn)場(chǎng)
產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)：
1、冷熱方式：液氮致冷，電阻加熱
2、溫度范圍：-190℃~400℃
3、溫度穩(wěn)定性：±0.1℃（-120℃~190℃：±0.3℃）
4、控溫速率：最大升溫速率:150℃/min，最大降溫速率：40℃/min
5、載樣臺(tái)：銀質(zhì)；23mm*23mm
6、光路：反射
7、視窗尺寸：φ25mm
8、視窗材質(zhì)：JGS2石英玻璃（透射波段范圍220nm~2500nm)，可手動(dòng)拆卸更換)
9、視窗上表面到載樣臺(tái)上表面距離：7mm
10、樣品腔高度：6mm
11、視窗除霜：低溫下吹氣除霜
12、腔室：真空
13、14個(gè)接線柱，其中12個(gè)引腳，2個(gè)接SMA接口
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